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产品系列
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产品介绍
产品介绍
PF-300T Upsion系列是我公司自主研发的UV cure设备，UV反映腔搭载在高产能的PECVD平台上，满足了对设备产能的需要。UV cure重要利用于LoK II和HTN的处置，让薄膜获得更好的机能。
产品特点
- 优异的出产成本(CoO)及机能指标
- 可搭载1-3个PM
- 通过S2安全认证和F47尺度检验
